清朝下轄九府、三直隸廳、七直隸州,共計四州、一廳、七十九縣:
- 韶州府
- 南雄直隸州,原為南雄府,1807年,改為南雄直隸州。
- 連州直隸州,1729年,改廣州府連州為連州直隸州,1816年,所屬連山縣為連山直隸廳。
- 連山直隸廳,1816年,改連州直隸州連山縣為連山直隸廳。
- 惠州府
- 潮州府
- 嘉應直隸州,1733年,設嘉應直隸州,1807年,升為嘉應府,1812年改為嘉應直隸州
- 下轄:程鄉縣(原屬潮州府,1733年裁撤,1807年—1812年設,附郭)、興寧縣(由惠州府劃歸)、長樂縣(由惠州府劃歸)、平遠縣(由潮州府劃歸)、鎮平縣(由潮州府劃歸)。
- 高州府
- 雷州府
- 陽江直隸州,1867年改肇慶府陽江縣設,下轄恩平縣、陽春縣、開平縣三縣,1870年改為直隸廳,三縣回屬肇慶。1906年,改為直隸州,下轄恩平縣、陽春縣二縣,1910年,恩平縣回屬肇慶。
- 瓊州府
- 崖州直隸州,1905年改瓊州府崖州設
- 下轄:昌化縣(原屬儋州,1730年代改屬瓊州府,1905年改屬崖州直隸州)、萬縣(1905年萬州改為萬縣)、陵水縣(原屬萬州,1730年代改屬瓊州府,1905年改屬崖州直隸州)、感恩縣(原屬崖州,1730年代改屬瓊州府,1905年改屬崖州直隸州)。